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      無塵車間的檢測項目有哪些以及電子行業對其要求

      目前,常用的潔凈室標準分別為30萬、10萬、10萬、100、100等。1000級車間分為靜態1000級和動態1000級。靜態是指車間內有設備,但不運行,無人員移動。另一種是動態,即運行過程中內部各工序的清潔度。1000級無塵車間一般指靜態1000級。那么,無塵車間竣工后應進行哪些測試項目呢?

      首先,氣流速度以及均勻性測試是無塵室效果測試的大前提。本測試的目的是明確單向流無塵室工作區域的平均氣流速度及其均勻性。

      二是系統或房間的風量檢測。

      第三,檢測室內清潔度。

      第四,檢測自凈的時間。

      第五,氣流檢測。

      第六,噪聲檢測。

      第七,照度檢測。

      第八,振動檢測。

      第九,檢測溫度和濕度。

      第十,檢測總風量和新風量。

      無塵車間通常又可以稱作潔凈車間、潔凈室或是無塵室。電子廠生產工藝分類多,包括集成電路生產、平南顯示器生產、硅材料生產、光纖生產、制卡業、表面貼裝、分離器件生產。

      由于生產工藝種類繁多,對清潔度等級的要求也不同,高度高,低度低;對粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um。對溫度和濕度的要求也相對來說較高。

      一般來說,電子行業中的冷負荷,單位冷負荷達到400~500W/平方米是很常見的,比其他行業要高出很多。由于冷負荷大,因此電子行業在冬季也有需求。電子工業生產過程中產生的有毒有害氣體種類繁多,數量也較大,因此所需的排氣量和新鮮空氣量也較大。新排氣的節能措施也是行業的特點之一理,以滿足排氣負荷的環保要求。

      電子工業生產工藝具有抗靜電、抗微振的要求,且特種氣體種類繁多,因此對純度和清潔度要求尤其高:

      1.萬級無塵車間的噪聲級:不大于65dB

      2.垂直流比不小于60%,同時水平單向流不得低于40%,否則只能局部單向流。

      3.潔凈室與室外的靜壓差不得小于10Pa。

      4.電子制造業萬級潔凈室內新鮮空氣量應在以下兩項中最大值:

      5.補償室內排氣量和保持室內正壓所需的新鮮空氣量之和。

      6.保證每小時每人供應的新鮮空氣量大于40立方米。



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